二手 NIKON NSR S204 #293593219 待售

NIKON NSR S204是为可靠生产高分辨率微芯片而设计的先进半导体光刻设备。该系统以i线光刻投影光学为基础，利用NIKON先进的NSR曝光技术，在晶圆制造过程中实现无与伦比的精度和可重复性。NSR S204具有0.05 µm的重复精度和0.05 µm+0.2µm的最小头对头曝光距离,是高分辨率应用的理想工具。NIKON NSR S204提供了一整套曝光功能，为用户提供了广泛的曝光模式和可控参数。该单元包括一套高级软件工具和硬件组件，以实现尽可能高的分辨率、准确性和速度。该机器还允许完全控制曝光过程，使用户能够对曝光设置进行微调，同时仍能产生高质量的结果。NSR S204配备了高灵敏度线性视场（LFOV）区域扫描型CCD图像传感器和二维滚动模式（TDSM） Stage。这种组合导致快速、可重复的扫描,而且重复精度极高。这两个要素的结合提供了一个完全自动化的过程，几乎不需要操作员干预。该工具的波长范围为365nm-440nm，波长精度极佳。该资产提供快速的设置时间,并通过使用曲线场模型来减少停机时间。NIKON NSR S 204的能力使得它适合从低到复杂的工艺光刻的广泛应用。NSR S204包含了晶片对准、晶片装卸和镜头自动对焦等一系列自动化功能。它还配备了综合监控设备，提供实时反馈和绩效报告。包括一个全面的安全和联锁系统，以尽量减少污染的可能性。NIKON NSR S204是可靠和一致的高分辨率晶圆制造工艺的完美工具。它拥有许多先进的特性，是任何半导体制造工艺的宝贵资产。