二手 NIKON NSR S204 #9241845 待售

NIKON NSR S204是一种晶圆步进器，设计用于微电子和半导体工业的生产和研究。它是一种针对微电子微结构和电路板的精密图样优化的专用步骤和重复工具。NSR S204利用二维模式生成器在基板上创建所需的模式。它使用光束光学、电子束光刻和光学成像透镜的组合。电子束由大电流枪产生，利用一系列聚焦元件成型并转向目标表面。这将创建特征大小小于17nm的纳米级特征。创建的图样可用于创建集成芯片设计的微观结构。NIKON NSR S204具有高标准的晶圆图样均匀性和配准精度.它有一个专利的双轨扫描系统，在所有晶圆尺寸提供高均匀性。它还具有独特的双轨扫描场顺序和阶梯式累积，以确保处理较大晶片时的精度。NSR S204的步骤和重复模式允许对现场大小进行精细调整,以最大限度地提高制造过程中的吞吐量。此晶片步进器具有广泛的工艺参数,包括一系列晶片尺寸、曝光和特征尺寸。它还能够处理高温和低温过程。其吞吐量高达3晶圆/小时，精度5-7nm。它在-7°C至+50°C运行,电源电压为110V/20A, 50-60Hz。反射镜系统配备了5轴能力，最大限度地减少了对电子束的振动干扰。NIKON NSR S204用于晶片级制图，实现优越的制图质量和均匀性。由于其精确的制图能力，非常适合先进的光刻和光电器件工艺。晶圆步进器提供了一种经济高效的方法来精确地生产产量损失最小的微观结构。