二手 NIKON NSR S204 #9243689 待售
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NIKON NSR S204是为半导体制造而设计的高性能晶圆步进器。它利用NIKON专有阵列微扫描(AMS)技术提供准确、高通量的晶圆扫描。NSR S204具有高分辨率、高速运行和全面的自动机监控设备,是先进半导体制造工艺的理想解决方桉。NIKON NSR S204能够缩小光掩模上的最小线宽并创建高度精确的晶圆图样。这可以通过集成的精密软件来控制、校准和监控写入操作。步进器具有坚固耐用的多轴微定位系统,该系统由编码器稳定,以确保精度和快速扫描。NSR S204包含在工业级框架中,旨在承受恶劣的工厂环境。NIKON NSR S204通过创建每个晶圆高达2400万像素的数组来产生高分辨率图像,而不会出现片外滞后。控制器板的多级联电压电路使线性和非线性电压得以实时改变,而内置的自动对焦单元则确保晶圆表面保持完美对齐。NSR S204的曝光机采用激光二极管阵列,可根据所需的晶圆图样发射多色光。通过计算机程序,曝光控制器为每种激光颜色设置特定值。这有助于在不同的曝光时间创建精确的接触模式,从而实现多层成像和阵列。除了其高精度光学之外,NIKON NSR S204还配备了Smartline,这是一种智能晶圆处理工具。Smartline使用强大的算法来识别平板上的每个蒙面晶片,并在处理过程中智能地重新定位每个晶片。这样可以确保晶片不受振动引起的错位或突然运动的影响而始终暴露在外。它还有助于减少错误识别错误。简而言之,NSR S204是一种先进的高精度晶片步进器,它提供高吞吐量、集成的过程控制和高效的晶片处理资产。它是半导体芯片制造商和其他需要精确成像的研究应用的理想选择。
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