二手 NIKON NSR S204 #9247366 待售
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NIKON NSR S204是一种高度先进的晶圆步进器,设计用于半导体工业。设备使用了一个强大而精确的高分辨率5 X投影镜头,连同一个大的晶片级,将暴露的图样精确地放置在半导体晶片上。这种晶圆步进器具有令人印象深刻的66 x 66mm的磁场尺寸和0.042 μ m的最小特征尺寸,使其能够满足要求最苛刻的半导体制造要求。NSR S204是一个全自动系统,旨在提高生产率和减少停机时间。它利用创新的软件解决方桉来完成整个过程,包括视场选择、模式数据优化、曝光扫描、监控和微机电装置快门校准。它还可以与其他各种设备如晶圆对齐器、图像数据分析机和其他外围设备连接。晶圆步进器採用2发曝光模式,可以对晶圆上的图样进行极精确的摄影。这项技术确保即使是最复杂的模式也能被准确地再现,并具有最大的细节。此外,NIKON NSR S204采用专有的专利纠错算法,以最大程度地减少阶段不准确、环境失真和其他错误原因的影响。该工具由各种传感器和摄像机提供动力,包括扫描位置检测器(SPD)和对齐位置检测器(APD),分别用于舞台和晶圆运动的对齐。此外,NSR S204还配备了先进的光源和灯具,以实现最佳照明。此外,该模型设计有特殊的多层过滤,有助于减少颗粒污染和暴露噪声。为确保最大程度的用户安全和便利,NIKON NSR S204配备了强大的安全功能,例如舞台移动和按键操作的互锁。它还具有直观的用户界面,支持远程操作以增强可扩展性和可访问性。该设备具有最大耐用性,能够承受恶劣的环境条件。总之,NSR S204是高精度晶片步进系统的一个突出选择。
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