二手 NIKON NSR S204B #293594683 待售
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NIKON NSR S204B是一种沉浸式扫描仪晶圆步进器，旨在满足先进的超小型设备和微电子要求。它具有先进的对准设备和处理大型基板的能力,并且可以精确移动200毫米（7.87英寸）,同时提供高分辨率和均匀聚焦。NIKON NSR-S204B具有最大200毫米的大基板尺寸、紧凑的尺寸以及具有可以同时移动四个晶圆/标线的级的端站。它还具有改进的晶圆处理阶段设计。晶片步进器的设计是为精细对准精度与单源系统与小场柱头成像光学器件。光学变焦单元的视图范围很广,从0.60 x到0.80 x。它还具有很长的工作距离，无振动扫描机，以及用于精确控制的晶圆处理工具。NSR S 204 B资产使用具有激光干涉图样（LIP）投影照明的集成柱头成像光学透镜和自动标线对准模型。它具有很长的工作距离，能够处理细线图样的高分辨率成像。设备可扫描多个高达300毫米（11.8英寸）、总长最大2000毫米（78.7英寸）的射击场。NIKON NSR-S 204 B提供低至25摄氏度（华氏77度）的低温暴露，并能够在先进的抗热控制下达到均匀的抗热厚度。晶圆步进极可靠,收率高（95%）,停机时间短.系统还具有高吞吐量,最大吞吐量为4000（8英寸）晶圆/小时。此外,它还具有高分辨率、高精度和高可重复性的高生产率,并具有处理细线图桉的能力。总体而言,NSR-S204B晶片步进器可靠性高,吞吐量高,精度高.它是先进的超小型器件制造和微电子应用的理想选择。NSR S204B具有高分辨率、大基板尺寸和小场柱头成像光学,可提供卓越的成像效果和无与伦比的可重复性。
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