二手 NIKON NSR S204B #293595741 待售

NIKON NSR S204B是世界一流的晶圆步进器，旨在最大限度地提高光刻和曝光操作的速度和精度。这种步进器结合了先进的曝光技术和集成的计量技术，以实现快速的光掩模制造，提高精度，减少浪费。该产品为制造半导体相关产品提供了可靠、用户友好的系统。NIKON NSR-S204B步进器具有先进的三轴光学元件设计，可实现卓越的成像速度和精度。FESEMIS （Fabrication Equipment Subsystem for Equipment Interface Standard）提供了一个灵活的接口,可与各种设备集成,包括检查系统和物料移动设备。FESEMIS支持多种成像格式,可实现8英寸和12英寸直径晶片的步进操作。步进器有四个主要的集成光学元件：物体透镜、场透镜、照明透镜和集合透镜。物体透镜覆盖宽数值光圈（N.A.），从0.35延伸到0.5，具有低失真以及真实的焦点倾斜和位移校正。场透镜提供了一个平坦的场，而照明和收集透镜则使用先进的点-衍射干涉测量（PDI）技术配置。这种特性的组合确保了低失真和低场曲率的高精度成像。NSR S 204 B步进器还具有一整套功能,可实现精确的掩模过程控制。这些功能包括高分辨率配准（HRS）和光学电源控制（OPC）功能,可优化曝光质量和吞吐量。HRS功能允许设备字段与布局模式精确对齐,而OPC功能允许在步进器上监视和优化全局和本地更改。这确保了高分辨率蒙版的精确成像,并确保了细线分辨率蒙版的卓越精度。此外,步进器还提供多种功能来协助维护和操作控制,包括报告、记录和工作负载控制。总体而言,NSR-S 204 B步进器是一种先进的、最先进的晶圆步进器解决方桉。该产品具有卓越的速度、精度和稳定性，是高精度、高通量光掩模制造工艺的理想选择。集成的光学和计量技术相结合,再加上产品全面的特性和功能,使NSR S204B半导体制造商的理想步进器。