二手 NIKON NSR S204B #293598414 待售
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NIKON NSR S204B是一种高精度、步进和重复曝光设备，非常适合半导体IC制造。它是包括MEMS、TSV、3D IC和高级光刻工艺在内的多种IC封装工艺的绝佳选择。该S204B具有先进的光学系统,可提供高吞吐量和可容纳多种晶圆大小的视场。它基于四面桌面设计，有四个曝光站，一次最多容纳四个4英寸晶圆。步进器的业界领先分辨率为4.0um，最大场尺寸为33mm x 33mm。它支持灵活的标线尺寸,带有可容纳100 mm标线面罩的标线级。它还可以通过使用一系列兼容的口罩和镜头来支持深紫外线（DUV）和浸入式光刻。该机具有高度可靠的高速伺服电机单元，最大功率150W。具有高精度对准机，可重复性0.25um，精度0.4um。X/Y方向的最大扫描速度为15.2扫描/秒,轴加速度高达15.25 G。该机器还提供了出色的稳定性和可靠性,可延长曝光时间。它有一个集成的冷却器，以保证机器保持凉爽，优化曝光区域的稳定性。冷却器还有助于减少热膨胀的影响，S204B可以承受高达40摄氏度的温度。该S204B配备了一系列功能,以确保高生产率。自动晶片装卸系统减少了人工，增加了吞吐量。它还具有快速的内部焦点调整工具，可用于在几秒钟内微调标线的焦点。此外,该计算机还提供远程诊断和可自定义的用户界面,用户无需技术人员即可实时维护和监视计算机。总之,NIKON NSR-S204B是一种功能强大且可靠的步进器,可提供高吞吐量、精确度和灵活性。该机可用于各种半导体IC制造工艺，其卓越的速度和精度使其成为先进光刻工艺的理想选择。
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