二手 NIKON NSR S204B #293606906 待售

NIKON NSR S204B Wafer Stepper是一种最先进的半导体光刻设备,专为半导体器件的微米级阵列设计。该系统利用单镜头单元和4X还原光机，以提供非常精确的对准和阵列设备。NIKON NSR-S204B Wafer Stepper工具采用高级软件实现了全自动,可自动调整曝光参数、对准和对准精度。NSR S 204 B资产由基础单元、集成步进控制单元、光源和X、Y、Z平移的电动级组成。基本单元装有光学显微镜、步进控制单元、电机、电机驱动器和电源。集成步进控制单元通过EtherCAT协议与电机驾驶员通信，以控制舞台的垂直和水平运动。电动级由两台直流步进电动机提供动力，包括一台用于精确Z轴控制的垂直线性伺服电动机。舞台的可控范围在X和Y方向为100 mm x 100 mm，在Z方向为5mm。NSR S204B中使用的光源是氦镉激光器。这种激光在光谱的紫外线区域发光，提供亚微米级的分辨率。激光的最大功率输出在紫外线区域15mW，波长为355 nm。该模型允许用户通过调整物镜的相对位置来控制激光光束的聚焦。设备的聚焦范围附着在衍射极限，允许在亚微米水平的特征的精确图样。NIKON NSR-S 204 B的主要特点是晶圆处理能力。系统装有晶片自旋卡盘，允许直接处理6英寸晶片。该单元还包括晶片卡盘和夹具，允许晶片相对于光束精确对准，进一步提高整体对准精度。除了精确的图样处理能力和出色的晶圆处理能力外,NSR-S204B还提供了出色的可靠性和可用性。这台机器的设计是为了运行较长的生产周期和最短的停机时间。该工具可以在自动或手动模式下操作，还包括用于晶圆弹出和未对准晶圆处理的真空资产。该模型的集成软件便于数据处理、编程和参数调整。该设备还包括一个网络适配器端口和一个Visual Basic Scripting语言，它允许对系统进行编程，并通过它可以创建用户脚本。最后,NIKON NSR S 204 B提供了精确阵列功能、自动晶圆处理功能和可靠性的完美组合。该装置是用于半导体器件生产和研究的理想工具。