二手 NIKON NSR S204B #293627299 待售

ID: 293627299
DUV Scanner CYMER ELS 6400 Exposure power: 900 mW/cm² Illumination uniformity: ±2% Wafer flatness: 3.0 µm Recticle accuracy: 0.4 - 0.8 mm Reticle rotation: |x| + 3σ, 0.02 µm Stepping precision: 3σ, 0.025 µm Backlash precision: 3σ, 0.025 µm Distortion: ≤ ±0.025 µm LSA Overlay: 3δ ≤ 0.045 µm FIA Overlay: 3δ ≤ 0.045 µm Inclination: ≤ 0.2 µm Wafer pre-alignment: ≤ 15 µm.
NIKON NSR S204B是一种高性能、步进重复的晶片步进设备,设计用于生产光掩模、标线、平板显示器和高分辨率检测基板。它具有0.37nm最精确的分辨率之一,最大图桉尺寸为12mm x 12mm。该机能够同时处理多个网状结构,使其适合生产大量的光掩模、网状结构和平板显示器。NIKON NSR-S204B配备了3镜投影对准系统,优化扫描算法,没有任何图像分割或重迭,以及先进的对准保护。使用该单元实现的精确对准精度确保了完整性,并且非常容易与光掩模放置阶段对准。为了达到最大的吞吐量和生产率,S204B加快了曝光过程,并为现场区域中的其他晶片提供了高速旋转阶段,使多个标线能够同时曝光。这使得生产效率和稳定性大大提高。这台机器还得益于10倍的内部放大倍率以及扩展的聚焦深度,从而允许超过0.75 �m的步长,而不会丢失任何图像检测。另外,色差校正工具允许粗细调整。该S204B还提供先进的边缘表示技术,确保更高的准确性在检查过程中.SNR Technology测量边缘信息和形状失真,同时考虑到任何非线性,并提供比传统步进和重复步进器更准确的结果。为了防止操作员出错,S204B具有内置的错误检测和预防系统,允许在生产过程中正确处理任何意外干扰或故障。该资产还具有内置的智能对齐功能,可实现准确的分辨率和快速定位。总之,NSR S 204 B是一种高性能、多功能晶片步进模型,设计用于生产光掩模、标线、平板显示器和高分辨率检测基板。通过提供先进的镜像对准设备、增强的扫描能力、提高的速度和提高的检查精度,S204B是任何生产过程中必不可少的强大工具。该系统可提供最高级别的准确性和吞吐量,而不会影响图像完整性。
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