二手 NIKON NSR S204B #293628991 待售

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ID: 293628991
晶圆大小: 8"
优质的: 2000
DUV Scanner, 8" CIM: SECS, GEM Handler: Type 3 Factory interface: Open cassette CYMER Laser: Distortion: 0.015 µm IU Flare: 1.80% Lens flare: 9.0% Uniformity: 5.3% Total focus deviation: 0.202 µm Astigmatism: 0.081 µm Coma: 0.062 µm ISO DOF: >35nm µm of CD Range Power supply: 779 mW 2000 vintage.
NIKON NSR S204B是一种晶圆步进器,旨在用晶体和其他材料制造下一代高精度零件。NIKON NSR-S204B采用NIKON Advanced Split Field Stereo Lithography (ASFS)技术,提高了光刻曝光的速度和准确性。NSR S 204 B包括改进的光束源、光路、投影光学器件和新的电机驱动器。这种组合确保了高度稳定的曝光环境,具有极好的覆盖精度和极低的非均匀性。NSR S204B设计用于处理薄至0.04毫米(1.6密尔)的切片晶体。该装置的OptiLand斑点大小小至58 µm,可重复性小至3 µm。NIKON ASFS技术将图样化的视野分开,在整个曝光领域提供了卓越的曝光均匀性。曝光场形状均匀,增加了机械稳定性,消除了焦距不相等造成的畸变。NSR-S 204 B具有提高的曝光速度和重复性。该机还具有先进的远程设备监视器和易于使用的图形用户界面(GUI)。NIKON NSR S 204 B包含用于阵列、步进设置和测量的工具。除了NSR-S204B之外,客户还可以获得一整套软件工具。这些工具允许在高端和低端应用程序中进行高效曝光。NIKON NSR-S 204 B具有先进的航空影像评估系统,可实现精确的闭环对准。先进的图像分级和分辨率调整技术保证了卓越的图像质量。NIKON NSR S204B还有一个集成的激光测角仪/Reticule,允许高速、双轴对准和非线性阵列结构对准。NIKON NSR-S204B配备了先进的工艺控制单元。这台机器便于操作员调整曝光设置和步进参数。该工具还包括实时数据显示和收集资产,用于监测、保存和分析步进操作结果。NSR S 204 B尺寸紧凑,适合现有制造环境。该机获得UL和CE认证,设计符合半导体行业的严格要求。该机器还设计用于处理多种化学品和光刻胶供应,消除了工艺之间的额外步骤。所有这些特性使得这台机器非常适合批量生产应用。
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