二手 NIKON NSR S204B #293678915 待售
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NIKON NSR S204B是一种晶圆步进器，设计用于半导体工业的精密光刻。它是NIKON NSR系列的一部分，是最可靠和先进的可用系统之一。该S204B采用人机界面方便操作，包括一系列高性能光学、自动控制和运动控制系统。S204B的物镜是NIKON AIMEX VXR270，一种大光圈高分辨率像差校正物镜。它的NA为0.35，全场放大倍率为3 x。这使得它能够实现精确的微米/亚微米光刻分辨率以及高吞吐量。镜头还采用了基于直线电机的驱动设备，用于平稳、无振动的操作。该S204B还具有NIKON专有MMC-5000E控制平台,可实现系统的自动化和精确控制。该控制平台支持广泛的控制功能，包括曝光时间、分辨率、工艺参数、标线移动和对准以及晶片级精度。它具有直观的图形用户界面，使操作变得简单高效。除了先进的光学和控制，尼康NSR-S204B还配备了一系列晶圆处理能力。它配备了一个电磁卡盘，用于运载直径达200毫米的晶片，以及一个盒式装载机，用于自动装卸晶片盒式磁带。这一通用单元还包括预处理和后处理操作的一系列配件。这包括用于检查晶片失真的自动晶片映射器（WRA）、用于映射和配准的上下运动表以及用于激光对准控制的步进控制表。总体而言,NSR S 204 B是一台功能强大且可靠的晶片步进机床,可提供精确的微米/亚微米光刻分辨率、自动晶片处理和直观的接口。它非常适合微电子、医疗设备、光电等应用。
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