二手 NIKON NSR S204B #293799832 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 293799832
晶圆大小: 6"
优质的: 2000
Stepper, 6"
Wafer type: Flat
SiC Pin chuck
Resolution: ~ 0.2 µm
Exposure field: 26 x 33 mm
Reticle, 6"
Pre-alignment: NC Pre2
CYMER ELS 6400 Laser
Reticle alignment
Wafer alignment
Auto focus
Auto feeder
Wafer tilt
Wafer holder
BMU
PPD
Power supply: 200 V, 3 Phase
2000 vintage.
NIKON NSR S204是晶圆步进器，一种用于半导体制造过程的光刻设备。NSR S204是一种先进的步进器，配备了晶圆处理器技术的最新进步。NIKON S204具有150 mm的大磁场尺寸,具有25X减少率,允许在晶圆上蚀刻时精确复制产品。NIKON S 204先进的光学器件可实现高度精确的成像,从而高效生产优质基板。NIKON S204配备了5轴运动控制系统，用于晶圆的精确对准。这可以使阵列与晶片的表面精确对齐,并使对齐精度达到+/-2 nm。此外,NIKON S 204的z轴对齐单元可实现高达+/-3纳米的表面图样的可重复性,从而实现异常精确的图样化。此外，NIKON S204利用自动对焦机来保证基板的均匀照明，从而在图样化过程中实现高精度和重复性。由于NIKON S204的物镜可以根据基板曲率自动移动，因此机器可以快速适应不同的基板，使晶圆的快速生产成为可能。NIKON S204还包含一些高端功能,以提高微加工工艺的效率和准确性。其先进的动态聚焦稳定降低了晶圆温度变化对焦点的可变性。此外,它的边缘模煳控制功能还可以产生具有最小化边缘模煳的统一模式。NIKON S204还拥有自己专有的NIKON曝光控制工具（NEX），用于精确测量焦点、薄膜厚度和曝光等范围关键参数。NEX根据前一次拍摄测得的胶片厚度调整每次拍摄的曝光水平，产生一致的结果。总体而言，NIKON S204晶片步进器是一种强大、先进的步进器，能够以高效、精确的方式生产高精度晶片。其广泛的先进特性保证了高效的微加工工艺。
还没有评论