二手 NIKON NSR S204B #9195176 待售
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ID: 9195176
晶圆大小: 8"
优质的: 2001
DUV Scanner, 8"
Handedness: Inline left or right
Altitude: Varies by site
Lens type: 4eN2
Chamber type: Standard
Chamber temperature set point: 22.2°C
Variable numerical aperture: 0.55-0.68
sPURE
Resolution enhancement technology (RET)
RET Apertures iNA= 0.51, 0.45, 0.41, 0.36, 0.27, and 1/3 annular
SHRINC Illuminator max σ; σ=0.85
Quick reticle change (QRC)
Reticle, 6"
Reticle loader
With reticle controller
Reticle barcode reader
Field image alignment system (FIA)
Laser step alignment system (LSA)
Phase contrast FIA
TTLFC2
Pre-alignment 2
Wafer stage: Air bearing / Linear motors
Type 3 ceramic wafer holder
Wafer loader
With type 3 wafer loader controller
Chip leveling included
Multipoint focus/level
Extended wafer carrier table
Pellicle particle detector (PPD3)
Online OCS
NIKON SECS II GEM Interface
CYMER ELS 6400 Series KrF excimer laser source
2001 vintage.
NIKON NSR S204B是一种高度先进和通用的光刻步进器，用于生产高分辨率集成电路芯片。此步进器能够成像直径达8英寸的晶片。它使用具有全场扫描的高度精确的计量系统来实现超微子对准精度。机器使用双面对准系统，测量甚至极薄晶片的厚度和对准精度。它具有独特的双轴晶片级,可以扫描晶片的两侧并成像,确保曝光的图样准确且无失真。它还具有高性能的光场平面器，可确保可重现的图像质量。晶片用各种制图技术进行加工，包括光刻涂层和曝光。步进器的照明系统是一种高效率的氙灯，曝光范围为1秒至1分钟。步进器可以保持惊人的0.1微米的光学分辨率，这对于在IC芯片中实现高度精确和精细的图像至关重要。机器的自动对焦检测和采集系统使得晶片的对焦极为精确。该机器还提供各种编程和晶圆处理选项，如晶圆尺寸检测、晶圆和网条交换，以及安全检查，以确保安全和成功操作。设计还包括一套全面的软件和用户功能，允许用户完全控制机器，以及访问复杂和动态的数据和功能。NIKON NSR-S204B还提供了一系列其他好处,例如低功耗、非常短的安装时间以及对部件的慷慨终身保修。NIKON NSR S2004B设计用于半导体制造的最佳用途,为用户提供全面、多样化和可靠的晶圆步进器。NSR出色的技术能力和功能,加上用户友好的设计和易于维护,使其S2004B各种芯片制造和编程应用的绝佳选择。
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