二手 NIKON NSR S204B #9195220 待售

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NIKON NSR S204B
已售出
ID: 9195220
晶圆大小: 8"
优质的: 2000
DUV Scanner, 8" Wafer type: SNNF Inline feed direction: Left Sendai S36 Chamber Lens type: 4EN2GK Chamber temperature: 23°C Reticle size: 6" x 6" Field size: 25 x 33 mm NIKON Standard reticle case (24) Reticle slots (2) Reticle libraries Wafer loader: Type 3 Notch 6C, 8" Low contact pin chuck KOMATSU / GIGAPHOTON G20K2-1 Laser Setup for 20 m altitude Focus check function: TTL-FC2 LSA, FIA Alignment chip leveling Multipoint focus / Leveling (45 Point) RET Shilink illuminator: 1/2, Annual, conventional, small sigma Bottom pellicle mount Reticle particle checker Reticle bar code reader Wafer carrier stage SECS Protocol 2000 vintage.
NIKON NSR S204B Wafer Stepper是NIKON最先进的步进技术模型。它是一种高度自动化的先进设备,用于硅片的制造。NIKON NSR-S204B具有基于各种先进设计的直接驱动设备,可以精确、可重复地定位晶圆。这种精确的定位可以跨多个晶片实现,以便创建一个更大、更复杂的结构或设备。步进器的高度精确和可重复的运动,使得硅晶片表面上的图像或图样能够精确对准和高效生产。NSR S 204 B利用多项创新技术来减少像差和防止镜像-确保跨晶片的高精度。其电动聚焦杆和灵活的数字图像稳定系统有助于消除操作员干预的需要。步进器还结合了NIKON专利的多步去整合单元,允许在多层表面上同时创建图样。NSR-S204B设计用于在30℃和+60℃之间的温度下运行,使其能够可靠地在各种环境条件下生成图像。其精密的基于激光的算法能够实现精确的亚微米精度,即使晶圆对准臂间距小至0.2mm。此外,先进的成像机在所有环境条件下都能确保一致和可重复的性能。NIKON NSR S 204 B兼具软硬件兼容性,意味着它可以与NIKON其他系统和软件集成。此高级功能意味着用户可以从LSIA软件中控制步进。它还提供可选的主板硬件,使其与IBM和Mac计算机系统兼容。NSR S204B还配备了内置的安全功能,以防止晶圆不对准。此外,步进器的高级设计允许轻松维护和更换关键部件。综上所述,NSR-S 204 B晶片步进器是一种高级设备,可为用户提供高度精确和可重复的晶片定位。它具有一系列创新技术,可确保硅片多层的高精度。这款设备用途极为广泛,与IBM和Mac电脑系统兼容。此外,NIKON NSR-S 204 B还具有多项安全功能,使用户很容易维护和更换其关键组件。
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