二手 NIKON NSR S204B #9243041 待售

NIKON NSR S204B是为先进的半导体制造应用而设计的尖端晶圆步进器。利用NIKON专有的Varitec TM设备,NIKON NSR-S204B能够在多模式模式和单曝光模式下运行。其先进的光学系统，能够在低NA（数值孔径）下提供高分辨率，使步进器在高吞吐率下产生高分辨率模式。此外,晶片步进器还具有手动和自动对焦功能,可快速、方便地对齐。NSR S 204 B经过全面的特性设计，使其成为先进光刻应用的最佳选择。例如，开发了其氧化管理系统，以支持先进半导体器件生产中的低排便过程。晶圆步进器还包括NIKON专有的"智能配方生成器",它利用直观的拖放界面快速生成优化配方。晶圆步进器中还包括一个超高真空（UHV）腔室单元，可防止氧化和污染造成的缺陷。NSR S204B还包括一系列主动和被动运动控制系统,可提高精度和吞吐量。其双轴级控制能够提供高精度图样,使用10米步长时扫描精度低μ 10 nm。晶圆步进器还集成了高速变焦模块，允许在不进行手动重置的情况下进行模式重置。此外，NIKON NSR-S 204 B可以实现高精度的模式对准，同时使用高精度投影光学机器和对准标记。当使用NIKON专有ICF （Image Circle Fit）时,其覆盖精度可最大程度地提高多种基板的性能,从而提高产量和设备可靠性。总体而言，NSR-S 204 B是一种先进的晶圆步进器，专门为高精度的阵列化应用而设计，例如先进的半导体器件生产。这使得它成为先进的光刻方法的理想选择，如多图样、低压光刻和超低临界尺寸半导体工艺。高分辨率和高通量结合了出色的工艺控制和可管理性,使NIKON NSR S 204 B成为先进半导体器件生产的理想选择。