二手 NIKON NSR S204B #9243873 待售

NIKON NSR S204B是一种用于制造集成电路的半导体制造工具。它是一种最先进的晶圆步进器，利用独特的卤化氢烯烃投影相干成像（HHEOPCI）技术，能够产生25nm线/空间分辨率的掩模图样。HHEOPCI专为高密度和高级封装应用所需的光刻工艺而设计。NIKON NSR-S204B配备了先进的计算对准和检查系统，在单一像素级别提供高分辨率成像和处理能力。机器协调和控制光刻过程从光学设备到舞台运动的所有组件，创造出性能卓越的高度集成过程。该机具有较大的聚焦深度、较低的光学失真和多重像差校正机制，允许可重现的高分辨率成像。NSR S 204 B包括一个较大的照明区域，允许有效的晶片装卸速度，从而提高吞吐量。它还具有机动化的可移动物镜，在步进器内保持高精度。这有助于维护所生成阵列的确切特征大小。它还包括一个低噪声和高度稳定的级系统，确保晶圆定位的平稳准确，提供更高的吞吐量和数据精度。NSR-S 204 B具有多种功能,包括双轨集成对齐（DTA）功能,可同时对齐两个阵列形成结构（如源掩码）和阵列匹配功能,从而在重复操作期间实现精确对齐。提高了设备的热稳定性，提高了成像过程的准确性和可重复性。NIKON NSR-S 204 B是一种可靠、先进的光刻步进器，用于产生高分辨率、高强度和高产32纳米芯片。它为制造可靠成型和封装的半导体产品提供准确、一致的成像。该机器利用先进的运动控制和超高分辨率成像系统来创建高度一致的图样,并且与最新一代的光刻抗蚀剂材料兼容。