二手 NIKON NSR S204B #9244030 待售
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![NIKON NSR S204B 图为 已使用的 NIKON NSR S204B 待售](https://cdn.caeonline.com/images/nikon_nsr-s204b_1080146.jpg)
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已售出
ID: 9244030
晶圆大小: 8"
优质的: 2001
KrF Scanner, 8"
Wavelength: 180 nm
Reticle size, 6"
Wafer type: Notch
Basic version: MCSV & BASE
Option version: OCSV
Includes:
LFU
Signal tower
Stage
Alignment
Reticle loader
Wafer loader
Main lens
Main computer:
DMCC HDD
FDD
DAT Driver
Unit status:
BMU
Laser type: GIGAPHOTON G20K2-1
Wafer stage: Air stage
Variable reticle microscope
Wafer alignment: LSA, FIA
Auto focus and leveling: Multi
PPD
Barcode leader
Reticle loader:
Type: Normal / 3LIB
Reticle size, 6"
Wafer loader:
Type 3
Notch type, 8"
Notch zone: 6 Time
In-line (Left)
Single cassette
Chamber status:
Chamber type: ASAHI N5Z-A
Atmospheric pressure: 755.7 mmHg
Chamber temperature:
Catc: 23°C
Batc: 23°C
Lltc: 23°C
LFU & Signal tower missing
2001 vintage.
NIKON NSR S204B是一种先进的晶圆步进器,设计用于模式传输生产的卓越性能.其强大的光源和先进的光学器件使其成为制造具有纳米尺度特征的高分辨率光掩模的理想工具。NIKON NSR-S204B配备了最先进的扫描仪光学器件和最高级的照明系统。NSR S 204 B上的光源是UV放电灯,最大功率输出为2.2 kW。这使得步进器能够实现高吞吐量和低失真级别,同时仍然能够实现出色的线宽和分隔。NIKON NSR-S 204 B上的光学器件经过特殊设计,可实现精确的对准和聚焦,即使在具有小特征大小的成像模式时也是如此。NIKON NSR S 204 B配备了高速压电运动平台,使其能够将晶片精确定位在最佳曝光区域,以获得最佳模式传递结果。NIKON S204B还具有全自动蒙版传输系统,该系统能够处理8英寸以下的蒙版尺寸,以及针对更复杂的流程的更高级的程序。它包括自动对焦、自动定位等选项,让操作员在拍摄前快速准确定位完美的曝光区域。NIKON S204B还具有内置的非接触式缺陷检测系统,使操作员能够在进一步的生产步骤之前快速识别和解决任何问题。如果您正在寻找在模式传输生产中提供高精度和可靠性的晶圆步进器,NSR-S 204 B是一个极好的选择。它结合了强大、持久的紫外线光源和先进的光学器件以及高速压电运动平台,使其成为纳米级分辨率光罩生产的绝佳工具。
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