二手 NIKON NSR S204B #9272079 待售

NIKON NSR S204B是一种晶圆步进器，旨在使半导体基板或"晶圆"上产生极小且错综复杂的模式。它是一种光刻装置，意味着它使用光线投射晶片上的图样，这些图样是由光敏材料（一种感光材料）所记录的。光源通常是基于氙气或水星的灯，尽管现代版本可能包含LED。NIKON NSR-S204B在许多方面都是自动化的，由一系列同轴电机控制，以确保精度和可重复性。这些电机定位晶片并控制步进和扫描的对准以及曝光。缩放、聚焦和对准也可根据每种基板的具体需要进行调整。这些精密电机使NSR S 204 B能够创建分辨率为0.29 µm（对齐面罩的分辨率）和高达0.35 µm（步进的分辨率）的模式。晶片被放置在由石英和环氧增强塑料制成的曝光室中，以确保没有污染转移到晶片上。光线通过一系列狭缝形的镜子，将多个图像投射到晶圆上，通过变焦镜头精确聚焦光线。一旦到位，晶片就暴露在光线下，并记录模式。之后，晶片可以去除，并进一步开发处理。NIKON NSR-S 204 B配备了多项高级功能,可提供额外的灵活性,包括增强群集控制,它使用两个独立的图像形成一次曝光。它还具有内置的带有固定掩码的扫描仪校准功能,允许晶片在曝光前精确对齐并聚焦。Package Reduction选项减少了高容量生产的曝光时间,Full Auto Reticle Search功能可确保准确放置阵列。此外，NSR-S204B还配备了若干安全功能。这包括一个在未检测到处理时自动关闭的腔室门，以及一个紧急停止按钮和曝光互锁，以尽量减少紫外线的潜在伤害。该装置还装有抗纤维化系统，以抑制暴露过程中的振动。总体而言，NIKON NSR S 204 B是一种强大而高效的晶圆步进器，允许在半导体晶圆上快速产生复杂的模式。其坚固易用的特点，加上其安全特性，使得该装置成为微型化装置的绝佳选择。