二手 NIKON NSR S205 #293660358 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 293660358
KrF Scanner
AIS Measurement repeatability: 3σ ≤ 60 nm
Stepping precision: 3σ ≤ 25 nm
Backlash: 3σ ≤ 25 nm
Resolution:
Conventional: 180 nm
Annular: 2/3
Depth of focus: ≥ 400 nm / ΔCD 36 nm
Focus deviation: ≤ 130 nm
Dynamic distortion: ±15 nm
LC Control Accuracy:
Magnification: ±10 nm
Alignment accuracy:
FIA-EGA: |M|+3σ ≤ 35nm
LSA-EGA: |M|+3σ ≤ 40nm.
NIKON NSR S205是为半导体量产而设计的高性能高速晶圆步进器。它具有高端扫描设备,为细线处理提供卓越的图像质量、精确的图样放置和较小的临界尺寸（CD）误差。NSR S205具有大的磁场深度、0.75的高数值孔径（NA）、宽敞的扫描磁场大小和可容纳300 mm素数晶片而无需扫描的磁场深度,确保了晶片到晶片的出色覆盖和出色的放置精度。为确保最大正常运行时间和最小维护,NIKON NSR S205配备了高级硬件和软件组件。CAN总线网络通信系统和集成视觉单元为用户提供快速、详细的反馈。其符合人体工程学、易于操作的晶圆处理机,配有前置访问功能,有助于防止错位并确保快速切换。晶圆处理和快门工具还具有集成加热器，以保持晶圆温度恒定。对于高级处理,NSR S205具有集成的激光直接成像（LDI）资产。该模型提供稳定、安全的曝光系数，并利用激光干涉条纹投影技术将图样精确对准晶圆。此外，数字缝线允许投影高度复杂的图桉。NIKON NSR S205还配备了集成光束对准设备，提供稳定的光学和电气值以及易于调节。NSR S205代表晶圆步进技术的最新进展。它流线型的设计允许用户减少接触颗粒和污染，而其高性能则非常适合批量生产。此外，其紧凑的尺寸和合理的价格使其成为各种工业和学术应用的宝贵工具。
还没有评论