二手 NIKON NSR S205C #293619857 待售

NIKON NSR S205C步进扫描设备是一种高精度、高分辨率的最先进的光刻系统，设计用于半导体生产中先进的光刻工艺。该单元能够以最短的处理时间生成最高质量的图像和图样。它的光束源是高效的ArF（气体放电准分子）激光光源，在扫描场中提供了5微米的高度精确的光斑直径和大约100 mW/cm2的最大光强度。该计算机有两种配置：纯扫描和步进/扫描仪。仅扫描模式用于具有大图像模式的曝光,不需要重复或注册。步进/扫描仪模式将刀具直接连接到步进,从而实现了大型关键特性领域的集成和可重复性,且精度很高。该S205C配备了三台独立的检流计扫描仪。主扫描仪负责扫描整个场，而两个子扫描仪则用来达到0.7微米的高2D线宽解析度。主扫描仪使用独特的单点光束来减少扫描时间，减少图像失真。该资产还配备了先进CCD相机的高级成像模型和连续镜头。这允许用户将扫描分辨率提高到0.4微米，以获得精确的电路模式。设备的用户界面是为高效操作和强大的控制设置而设计的。操作面板和4.3英寸彩色液晶显示屏可控制所有参数,而报警功能可轻松管理系统。该单元还提供了许多方便的网络功能,例如Web浏览器、IP地址或以太网连接。NIKON NSR S 205 C的另一个流行特性是其内置的自动对齐机，自动对齐步进器和扫描仪的过程。这样可以确保最小的模式不对齐,从而导致图像退化和屈服损失。NSR S205C是一种高效、精确的光刻工具，旨在满足生产线光刻的极端需求。它是工业半导体生产的安全可靠的选择，适合广泛生产非常先进的光学电路。