二手 NIKON NSR S205C #293621756 待售
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ID: 293621756
优质的: 2002
KrF Scanner
Load chamber
Chamber and accessories
IIU
BMU
AB Rack stand
CYMER ELS-6410 Laser
Illumination unit
FAB AC
Transformer
NIKON S53 Chiller
AMP Rack double / Single and accessories
2002 vintage.
NIKON NSR S205C晶片步进器是一种用于半导体器件制造的最先进的晶片步进工具。该S205C能够扫描直径最大为8英寸的圆形晶片,并允许进行非常适合光刻应用的高精度阵列。该S205C拥有设计精良的光学设备，利用NIKON光刻光学技术与先进的控制系统相结合，以确保准确性和可靠性。该S205C提供了许多支持将图样精确打印到晶片上的功能。S205C上的光学器件由一个电动级驱动，该级允许晶片的精确运动，以实现快速和精确的光束对准。该装置还具有高精度对焦检测能力，允许在对焦镜头位置和晶圆轮廓方面进行严密控制。这些特性的组合确保即使是很小的特性每次都能准确地印在晶圆上。S205C的处理系统也是为了保持最佳性能而设计的。操控单元由一个真空卡盘和一个可以精确对准和处理晶片的6轴机器人组成。这样可以提高晶圆处理的吞吐量和准确性。该S205C还具有许多内置的安全功能，有助于防止污染和意外接触危险的光刻气体。最后，S205C有一系列用户友好的软件，有助于简化光刻过程。该软件允许用户远程设置、监视和控制机器,从而提高灵活性和生产率。该软件还包括内置功能,可轻松记录和分析数据以进行质量控制。综上所述，NIKON NSR S 205 C是一种晶圆步进工具，旨在支持半导体器件的准确高效生产。其优越的光学工具、精确的处理资产和用户友好的软件使其成为高精度光刻应用的热门选择。
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