二手 NIKON NSR S205C #293639083 待售

NIKON NSR S205C是一种多场成像步进器，广泛应用于半导体工业。NIKON NSR S 205 C以2.05微米的分辨率具有高精度、高通量的光刻性能。晶片步进器采用激光干涉仪，保证了曝光场对准的准确性和可重复性。这台机器的设计是为了满足各种生产需要，从小到大的晶圆尺寸从小到大的设备尺寸。它支持从4英寸到12英寸的全套蒙版尺寸,并且能够容纳200毫米以下的蒙版尺寸。步进器提供了广泛的镜头选项，以满足各种曝光要求。可用的镜头包括0.65NA和0.60NA等高NA（数值光圈）镜头，以及高NA S型镜头。设备采用高速、高分辨率的扫描机制，确保多个曝光场准确、同步注册。NSR S205C还具有一系列集成的自动化功能,包括视觉辅助对齐和自动对焦,使用户能够减少设置每个作业所需的时间。此外,步进器还配备了多种特殊功能,以实现特定设备类型的模式检查和迭加分析功能。这些功能包括电气设备阵列的自动对焦和测量系统、阵列缺陷检测以及改进的光学设备阵列形状。步进器的标线级提供了比传统系统更高的可重复性水平，旋转精度为5弧秒。NSR S 205 C包括多种过程控制选项，如多程序循环功能以及存储多个掩码和配方的能力。步进器还兼容多种DPEC（数据处理和评估控制）软件，提供自动晶圆图、灵活曝光参数设置和顺序夹紧控制。NIKON NSR S205C还支持各种检查、监测和测量系统。总体而言，NIKON NSR S 205 C是生产半导体器件的理想单元。它具有先进的成像和精确的对准技术,多镜头和自动化功能,以及高精度和可重复的机器特性。步进器的特性使其成为一系列应用程序要求的绝佳选择。