二手 NIKON NSR S205C #293817918 待售

NIKON NSR S205C是一种晶圆步进器，用于制造半导体器件。它能够产生从250 nm到20 nm的特性,具有出色的精度和精确度。其先进的对准设备确保了可重复和可靠的设备生产的高精度结果。NIKON NSR S 205 C还具有更大的扫描角度、更高的扫描速率和更高的NA光学器件，以提高晶圆吞吐量。NSR S205C的曝光系统基于多区域单元,该单元可提高曝光速度并生成逐行曝光模式。它还具有亚微米最大图像失真，具有极好的迭加精度。为减少曝光时间，曝光时间为0.9秒，最小镜头放大倍数为5 x，该机采用高能Deep UV （DUV）源，因此最大曝光剂量为5 mJ/cm2。NSR S 205 C的对准机使用NIKON试用和可信的光学器件以及弹性光束组合，以达到高标准的精度和重复性。尺寸测量的最大精度为0.3 μ m,对准精度为0.1 μ m。它还具有内置的对齐软件，在生产芯片时允许高精度和水平的控制。NIKON NSR S205C具有模块化设计,易于升级。可以更换组件以满足不断变化的设备要求,并且可以将设备集成到标准晶圆工艺平台上。本机还配备了减振、提高吞吐量的超静冷却工具。这一冷却资产与其他功能相结合，提供了出色的效果，使其成为半导体行业的热门选择。NIKON NSR S 205 C是一种令人印象深刻的晶圆步进器，能够在设备上产生高精度和精确度。它具有直观的对准模型和模块化设计，非常适合生产先进的半导体器件。它既可靠又高效，吞吐量极好，是任何晶圆生产线的理想补充。