二手 NIKON NSR S205C #9114891 待售

NIKON NSR S205C晶圆步进器是一种用于制造集成电路的先进光刻设备。它是一种高度可靠和准确的工具,占地面积小,维护要求低。该设备利用多波长曝光源，覆盖从紫外线（UV）到红外线（IR）的广泛光谱范围。此外，该系统有两台2轴独立扫描仪，具有高级级重迭检测能力，提供了极其精确的重迭精度。NIKON NSR S 205 C还具有一个用于掩模图样的高分辨率成像单元，能够从12um CD形成图像。此外,还有一个自动掩码对齐器,其对齐精度为3um+/-0.6um。它还拥有先进的数据存储机和大型投影镜头，提供精确的光斑尺寸控制和对焦性能。该工具还具有适合中小尺寸基板的优化预整平阶段。步进器的设计支持范围广泛的晶圆尺寸从3"到8"。它有一个200mm的工艺窗口，可以让使用者根据装置的材料特性选择最合适的暴露剂量。资产的软件提供了卓越的自动化功能,使用户能够在一个步骤中处理多个作业,而Job Analyzer功能允许用户跟踪流程参数。NSR S205C由高级板载图形用户界面控制,可轻松访问所有操作。它还提供实时监视、诊断和警报,以最大限度地提高模型性能。此外，该设备还配备了数据记录系统和符合SEMI S2和S8 Class 1级要求的可调安全标准。此外,该单元还提供以太网、USB和RS-232等多个终端接口,以实现高可靠性数据传输。总体而言,NSR S 205 C是一款用途广泛、功能可靠的工具。它非常适合中型芯片制造商或研发团队,可用于研究和生产环境。此步进器具有强大的性能、易用性和全面的保护措施,是任何希望提高效率和输出的人的绝佳选择。