二手 NIKON NSR S205C #9207364 待售

NIKON NSR S205C
ID: 9207364
KrF Scanner.
NIKON NSR S205C是一种功能齐全的精密晶圆步进器,用于光刻应用。它专为高吞吐量而设计,占地面积很小,非常适合清洁室或实验室环境。该S205C利用先进的5轴扫描仪,该扫描仪具有较大的视野,可提供20微米及以上的最大图像大小。这样可以实现广泛的晶圆几何形状并防止散光。该光学系统具有高性能、内装光学元件NeXtech NRF、NIKON开发的低缺陷浸入式透镜和专有的NIKON CCD,它们针对光刻进行了优化。该S205C配备了高速、高精度的级,允许在广泛的应用中精确、可重复、可靠地放置和扫描晶片。它的高速扫描和清洁室设计使S205C能够大规模生产高分辨率的微加工晶片。扫描仪的四帧功能可确保快速重复高分辨率成像。NIKON NSR S 205 C自动化程度很高,其高级软件设计方便快捷操作。用户友好的GUI允许操作员对系统的所有方面进行编程、监控和维护。自动对齐系统有利于提高对齐精度,最大限度地降低用户可变性的影响。除了其全面的光刻技术外,NSR S205C还具有先进的非接触式测量和检查能力。这提供了高精度、可重复、无损的测量。这些功能使用户能够精确确定设备参数并非常准确地检查测试晶片。S205C软件的出色灵活性提供了强大的工具,如晶圆图编辑和快速数据处理功能。该S205C符合SEMI标准,包括大量的层变量,使其能够支持广泛的光掩码和抵抗类型。此外,该S205C支持先进基板的快速曝光加工.对于正常底物,暴露时间明显减少。这使得S205C成为高速光刻、工业加工、研发的理想选择。总体而言,NSR S 205 C是一种高度可靠且用途广泛的晶圆步进器,专为实现极高的精度和速度而设计。凭借其先进的5轴扫描仪、高吞吐量、多种功能,S205C是任何光刻需要的理想选择。
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