二手 NIKON NSR S205C #9258895 待售

NIKON NSR S205C
ID: 9258895
晶圆大小: 8"
KrF Scanner, 8".
NIKON NSR S205C是一种最先进的光刻设备,能够在晶圆上产生高质量的图像。它由寺崎型玻璃室、i线系统和使用尼康开发的DUV投影光学器件的晶圆步进器组成。寺崎型腔室的设计目的是减少振动,为光掩模对齐器/步进器提供高度稳定的操作环境。I线单元由四个I线镜和一个I线光源组成。I-line机器提供了扩展的对焦深度,并且由于像素失真较少而提高了打印性能。NIKON开发的DUV投影光学器件提供高影像对比度和低耀斑的双面图桉。晶片步进器是一种最先进的晶片更换工具,能够在直径不超过8英寸的晶片上自动对齐和打印。I-line资产允许高速模式移动高达2cc/秒。该模型还具有高精度级,它提供了必要的稳定性,以确保面罩图样打印的准确性和可靠性。NIKON开发的DUV投影光学器件还设计为提供更高的步进吞吐量,从而提高产量。NIKON NSR S 205 C除了具有先进的晶片步进功能外,还具有先进的控制器,可提供丰富的功能,包括自动掩模对准和边缘跟踪、用于接缝的高放大率显示器、自动拆分孔径校正和高精度累积。高级控制器包括一个嵌入式PC设备,与晶圆步进器和其他控制器进行通信。此外,晶片步进器还具有用户友好的界面,它简化了操作,使工程师能够快速准确地设置和控制复杂的晶片模式。总而言之,NSR S205C是一种高度先进的晶片步进器,能够在晶片上产生高质量的图像。NSR S 205 C拥有Terasaki型玻璃室、I线系统、NIKON开发的DUV投影光学器件和先进的控制器,是半导体和平板制造工艺晶片制图的理想选择。
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