二手 NIKON NSR S205C #9308056 待售
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ID: 9308056
晶圆大小: 12"
KrF Scanner, 12"
Magnification: 4x
Wave length: 248 nm
Exposure type: Static
Handedness: Inline left / Right
Track interfaces: TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8, ACT 12-200, ACT 12
Lens type: 4:1
MAC Real-time lens control
Chamber type: Standard
Chamber temperature set point: 22.2°C
Variable numerical aperture: 0.6 - 0.75
sPURE
Resolution Enhancement Technology (RET)
RET Apertures:
1/3 Annular (LNA: 0.75)
1/2 (LNA: 0.75)
2/3 (LNA: 0.75)
2/5 (LNA: 0.75)
2/5 (LNA: 0.68)
SHRINC Illuminator σ: 0.85
Quick Reticle Change (QRC)
(6) Reticles, 0.25"
Reticle microscope compatibility: 22.0 mm fixed
Reticle loader with reticle controller
Reticle barcode reader
Field Image Alignment (FIA) System
Laser Step Alignment (LSA) System
Phase contrast FIA
TTLFC2
Beam matching unit
Pre-alignment 2
Wafer stage: Air bearing / Linear motors
Wafer loader: Type 4
AVIS System
Multipoint focus / Level
Extended wafer carrier table
Pellicle Particle Detector (PPD3)
NIKON SECS II GEM Interface
CYMER ELS6410 KrF Excimer laser source.
NIKON NSR S205C是专门为光掩模光刻工艺设计的晶圆步进器。此步进器具有专有的静态和动力学成像设备,能够为从半导体到平板显示器的各种设备应用生产掩码。NIKON NSR S 205 C步进器采用高通量曝光头,最大分辨率为6.6 μ m,以实现卓越的图像质量。它还结合了最新的NIKON技术，如高动态索引（HDI）和直接激光写入器（DLW），使子分辨率成像成为可能。此外，该步进器还配备了七轴多级自动晶片处理系统，可实现精确的晶片对准和放置。步进器还包括一个原始的Carl Zeiss-Varilux光学单元以及NIPR（具有分辨率的纳米分辨率成像平台），为各种基材和光掩模类型提供出色的分辨率和重复性。此外,NSR S205C还配备了快速弧形孔径成像机,降低了能耗。这种步进器还提供专有的大气投射技术，确保在整个暴露过程中气体消耗最小。此外，步进器能够在一次曝光操作中同时进行一次或两次曝光，从而允许操作员在一个或两个蒙版上进行一次曝光。整个NSR S 205 C工具具有用户友好的图形界面,具有高性能的可操作性,并使用各种光刻模拟和参数进行编程。此外，该步进器还配备了节能自动感应晶圆进料资产，既能节约能源又能安全运行。此外，一个自动对焦模型自动化的焦点设定过程，并产生极好的晶圆定心精度。此外，步进器带有一个可定制的界面，允许用户针对各种应用优化光刻参数。总体而言,NIKON NSR S205C是为优化光刻工艺而设计的高级晶圆步进器。它非常适合生产半导体、平板显示器、图像传感器和其他与图像相关的产品。它配备了强大的成像设备和各种高级功能，使其成为各种应用的合适选择。
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