二手 NIKON NSR S206 #293817851 待售

NIKON NSR S206是一种晶圆步进器,主要用于显微加工中的光刻工艺技术.它被设计成通过一个叫做"曝光"的过程在半导体基板上成像光刻胶涂层。这个步进器有两个曝光系统，其中一个使用卤化汞灯，另一个使用LED阵列。根据要求，可以从曝光角度改变照明源。此设备允许步进器以更高的速度执行,并确保高精度阵列,分辨率高达0.25微米。步进器允许使用各种各样的光掩模和抗蚀剂。这包括正面、负面和黑貂色调抵抗。NSR S206还能够使用各种基板，包括玻璃基板、晶圆基板如Silicon、Ge、GaAs和InP。它还可以容纳石英等中型板。步进器允许图像在大场上具有高精度均匀性，而无需缝合或手动修饰。它的自动缝合特性允许大场分成较小的块，将它们曝光，然后缝合在一起。此外,NIKON NSR S206能够暴露大型步进场。晶圆的表面保持清洁与内置激光清洁器，这也有助于图像的保真度。此外,它的自动聚焦和曝光控制功能提供极精细的微米模式.它的软件可以进行复杂的图像优化,并将更快的成像时间与卓越的NA（数字光圈）拉力相结合。步进器带有直观的图形用户界面（GUI），可以与几种光掩码制作技术集成在一起。总体而言,NSR S206是一个高级步进器,可提供卓越的吞吐量和分辨率。它旨在最大限度地提高先进半导体工艺的效率和重复性。