二手 NIKON NSR S206 #9196486 待售

NIKON NSR S206是晶圆步进器，是该公司具有成本效益的NSR系列步进器的一部分。它是为在大批量生产制造过程中对半导体晶片进行高效、精确的加工而设计的。NSR S206能够通过其光学组件以及层对层迭加来实现高级阵列化,使其成为线宽控制降至0.2微米的中小型特性的理想选择。此特定步进器使用CCD类型的阵列生成器从CAD绘图输入数据生成图像数据,用于产生光掩码的过程。它还集成了一个功能强大的CASSSPEC扫描设备，用于快速模式传输和曝光参数的优化与简单的预设设置。利用其最新的剂量控制算法（DCA）和主动像素计数（APC）, NIKON NSR S206在整个晶片的暴露剂量方面提供了最佳的均匀性,从而在整个晶片表面形成了均匀的图样。NSR S206高度自动化,旨在减少人为干预,创建高度统一、无缺陷的模式,并具有低维护的高精度双级基板定位、晶圆卡盘和真空系统。其独特的曝光单元体系结构支持多个曝光字段,而无需额外的时间或成本,这意味着它可以在处理过程中在字段之间快速切换。NIKON NSR S206配备CleanTrack晶片清洁机,可清除晶片中的有机和金属污染,在不影响质量的情况下提供高生产率和全面效率。它还与各种先进的光刻材料配合使用，包括高分辨率的抗蚀剂，包括正反两种，以及超分辨率的抗蚀剂。NSR S206具有先进的光掩模改进、用于掩模和晶圆的预对准系统以及超高分辨率成像技术,非常适合先进的半导体工程和制造需求。它是一种高效、精确的晶圆步进器,以经济实惠的价格提供更高的吞吐量和质量。