二手 NIKON NSR S206D #293759609 待售
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ID: 293759609
Scanner
MCSV Basic
OCS Option
Tool version
Reticle loader
Stage
Wafer loader
Lens controller
VRA, SRA Reticle alignment
LSA, FIA Wafer alignment
Multiple auto focus
GIGAPHOTON G40K2-1 KrF Laser
BMU
DD Box
PPD
Control rack position
Barcode system
Chamber type: Asahi N6B-A Chamber
Wafer stage:
Chuck type: Ring type, 8"
Air stage
Wafer loader:
Notch, 8"
Loader type: Type 4
OF type: Notch
Flat zone: 6
In-Line: Left type
Cassette: right
Reticle loader:
Reticle, 6"
Expansion library
Left 10-Slots
Centre 10-Slots
Hard Disk Drive (HDD)
Floppy Disk Drive (FDD).
NIKON NSR S206D是为先进半导体加工而设计的先进扫描电子晶片步进器和检测设备。该系统由一台电脑化的主机、运动控制器、信号处理器和扫描电子显微镜组成。它能够处理极小区域的高分辨率成像,精度和精确度令人难以置信。它的多个光学单元和电动级允许多层晶片的轻松高效对准和可视化,从而实现更高的吞吐量和准确性。NSR S206D的应用范围广泛,种类繁多,主要用于晶片步进器的应用,如光刻、抗加工、建模和各级检查。在光刻中,该单元提供了在晶片上成像、曝光和开发抗蚀层的能力,从而能够处理多个抗蚀层和更精确的光刻。利用运动控制机,可以扫描和分析各级晶片,实现更完整、更准确的可视化。由此产生的晶片产量较高,最终成本要低得多。该工具的成像功能非常精确,能够对复杂的特征进行完整和精确的可视化。该级允许晶片非常精确和个性化的对齐,确保图像分辨率很高。这种极高的精确度使得资产非常适合于详细的比较和检查目的,在那里甚至可以检测和分析不同层或设计之间的微小差异。NIKON NSR S206D由一系列外围设备组成,包括信号处理器、真空模型和其他组件。此设备是步进器正常工作所必需的,并有助于实现复杂的成像功能。总之,此硬件确保设备能够快速有效地运行,从而产生最高精度和精度的结果。NSR S206D是一个高度先进的晶片步进和检测系统,能够解决晶片上非常复杂的模式和设计。它的运动控制器、信号处理器和扫描电子显微镜能够生成高度精确的图像,从而提供宝贵的信息。它在整个半导体工业中的使用一直非常有效,得到了广泛的采用,使其成为一项宝贵且不可或缺的成像技术。
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