二手 NIKON NSR S206D #293794196 待售

NIKON NSR S206D是Wafer Stepper设备,专为经济高效的光刻和高通量而设计。NSR S206D主要用于半导体器件的制造,它提供了高级性能功能以简化生产。该半导体光刻系统具有200 mm晶片处理能力、365nm光子源波长、5.1 um最大曝光场、2/3/4位级表、最大1280晶片/小时高吞吐量、0.2 nm步长、10 nm可重复性和5nm射程定位精度等多种特点。NIKON NSR S206D的高级功能包括光电MacroWEDTM Reticle、不透明石墨掩模、高精度、10位自动对准单元以及高达0.18 um的机器分辨率。该装置还提供低激光束对比度和无像差掩模图样，用于精确和一致的光刻结果。由于其快速的晶片处理能力，该工具能够保证快速准确的晶片处理。步进器包括一个数字成像资产和一个高对比度的黑色反射涂层，以确保晶圆上每一个镜头的精确曝光。它还具有多种安全功能以保护敏感组件,以及全面的维护功能以减少工作负载。NSR S206D除了具有先进的功能外,还具有动态离子束模型,它允许用户调整光束打开时间以优化曝光时间和性能。此功能在处理大批量生产过程时特别有用。NIKON NSR S206D Wafer Stepper是高容量半导体光刻的先进、经济高效的解决方桉。由于其高性能、流线型晶片处理和一系列安全功能,此设备非常适合寻求易于使用且可靠的光刻设备的半导体制造商。