二手 NIKON NSR S206D #293817917 待售

NIKON NSR S206D
ID: 293817917
KrF Scanner Numerical Aperture (NA): 0.82 Resolution: 130 nm DCO:  20 Throughput (WPH): 88-147.
NIKON NSR S206D是一种高性能晶圆步进器,旨在提供精确的曝光控制和优越的图像质量。该机非常适合光刻应用,如光掩模曝光、光刻和IC制造。它旨在满足最苛刻的半导体工艺和器件制造的需要。步进器利用先进技术,如NIKON专有的Flex Focus Lens和新型的Reduced Dimensioning (RD) Aligner,提供精确的迭加精度和高分辨率光刻结果。NSR S206D能够容纳各种各样的基板,包括玻璃、硅、蓝宝石等大型基板,以及传统的光掩模基板。它还具有范围广泛的曝光场,小至5x5微米,大至429x429微米,允许精确的光刻曝光错综复杂的图桉。NIKON NSR S206D还利用NIKON独占间隔步进模式(ISM)对准系统,允许精确调整曝光和对准过程的速度,从而提高两者之间的相关性。此外,NSR S206D还配备了一套高级工艺控制和管理软件,允许用户控制和监控光刻曝光和其他工艺。该软件还允许用户优化其光刻曝光等工艺,以达到最大产量和准确度。NIKON NSR S206D还配备了业界领先的漂移补偿系统,允许更精确和精确的光刻结果。最后,NSR S206D旨在提供卓越的可靠性、准确性和生产率,使其非常适合要求最苛刻的半导体工艺和设备制造应用。凭借其先进的曝光控制器和工艺控制器,用户可以实现精确的曝光控制,消除曝光问题,减少曝光时间,实现高分辨率光刻曝光。此外,其多种功能、独特的配置选项和卓越的图像质量使其成为最通用、最精确的晶圆步进器之一。
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