二手 NIKON NSR S206D #9207363 待售
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NIKON NSR S206D Wafer Stepper是一种用于半导体工业制造集成电路的高精度光刻设备。该系统由投影对准器、晶片级、高分辨率物镜和曝光灯组成。投影对准器允许使用精密的高NA光学器件,以最高的光刻精度。晶片级能够控制,持续精确的大范围运动。这些特点结合物镜的高分辨率光学元件,使S206D适合高端基板,同时有助于提高成像精度。该单元还配备了自动对焦功能,可确保每次精确成像晶圆图桉,以及产生明亮、均匀照明的高性能曝光灯。这给了S206D优秀的线条和空间精度以及一致的图桉填充质量。由于内置的精密控制和高效的镜头,S206D还提供精确的图案与一次曝光。此外,它还支持全步进/扫描仪式操作,有助于降低生产成本。NSR S206D Wafer Stepper还拥有直观、用户友好的功能,如二维(XY)晶圆转换机、石英晶圆碗和基于PC的触摸屏操作。此外,该工具与正向和负向步进掩码兼容,使用户可以更好地控制其工作。此外,它还包括一个功能,可实现实时晶片表面和相机传感器温度监控,从而实现精确的过程控制。总体而言,NIKON NSR S206D Wafer Stepper是一种功能强大、高度精确的光刻资产,适用于各种应用和技术。凭借内置的功能和控件,用户可以期待卓越的成像精度、均匀的照明效果和全面的步进/扫描仪功能,而直观、用户友好的功能则提供前所未有的控制和便利。
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