二手 NIKON NSR S207D #293587213 待售

NIKON NSR S207D是一种最先进的高精度晶圆步进器,旨在满足当今先进半导体制造中超小型特征阵列的苛刻要求。该S207D的最大分辨率为0.3微米,最小步长为1毫秒,同时具有一对一的曝光场尺寸,是精细间距和高密度设备应用的完美工具。该S207D采用创新的双级源镜头系统,可提供卓越的曝光均匀性和高通量性能,适用于一系列晶圆尺寸。机动化曝光距离和物镜移位确保了恒定的空中影像强度，而超短波长、短脉冲SCRF曝光系统则有助于达到业内可用的最高单次曝光吞吐量。该S207D配备了广泛的曝光技术，以适应各种光刻要求。其中包括MAPSYN、LEAP、SEM-LIG和Flip曝光技术，以及专用的晶圆和掩模对准器，以确保最大的准确性和快速的过程。该S207D还支持许多曝光配置文件,以确保每个流程针对特定设备类型进行优化,使其非常适合各种流程。除了令人印象深刻的曝光性能外，S207D还具有许多旨在简化其操作的功能。其中包括完全模块化和可维修的设计,使其能够在一系列位置快速安装和维修。该S207D还具有先进的自动化软件包,允许全自动晶片处理,包括晶片安装/卸载、曝光和晶片处理。NIKON NSR-S207D是任何先进半导体制造工艺的理想解决方桉。凭借出色的性能、完整的自动化封装和卓越的吞吐量,它是确保高效、经济高效地生产超小型特征模式的完美工具。