二手 NIKON NSR S207D #293587228 待售

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ID: 293587228
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
KrF Scanner, 12" FOUP External system Factory interface: SMIF Temperature controller Amp rack Gigaphoton laser Fan Filter Unit (FFU) CIM: SECs 2006 vintage.
NIKON NSR S207D晶圆步进器是一种用于生产半导体器件的精密仪器。它旨在以纳米级分辨率将光刻图样精确地步进半导体晶片表面。S207D型号具有先进的5轴设备,允许对齐多个掩码,同时保持最高的分辨率精度。它还配备了许多先进的功能,使步进操作比以往任何时候都更加容易和高效。该S207D具有高达0.4微米的高分辨率直接成像系统以及0.5的最大数值孔径(NA)。这允许打印超精细比例的图样,从而提供最高的可用精度。步进器还具有一个先进的可编程扫描仪,它使您可以自定义掩模级的运动以获得最佳的图像形成。这种扫描仪允许粗糙和精细的步进,甚至更高的精度和速度.步进器由高级软件提供动力,为用户提供清晰直观的界面,便于操作。它以NIS-Elements软件为标准,高级用户可以充分利用Pro II版本。Pro II版本具有许多额外的处理功能,并允许高级用户根据他们的确切需求对步进器进行微调。该S207D还配备了多种对准系统,包括高级SIMARIS-15系列和基于红外的SR-4300系列。这两个系统都非常精确,提供的结果都在目标模式的0.3微米以内。扫描仪还有一个效率设置,允许高速步进以大大提高吞吐量。该S207D还配备了一系列易于使用的外围设备,如三通道控制器、电源单元、气动机和照明工具。它还具有集成的可编程计算机资产和各种功能模块,如图像处理模块、自动对焦模块和模式检查模块。这些模块旨在充分利用步进器的功能,同时确保最高级别的准确性和效率。NIKON NSR-S207D是一个令人印象深刻的晶圆步进器,能够在半导体器件的生产中提供最高水平的精度和效率。其先进的5轴模型提供了最佳的成像性能,而其直观的软件和众多的外围设备组件使它既易于使用,又可用于任何应用程序。
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