二手 NIKON NSR S207D #293811115 待售
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NIKON NSR S207D是一种高性能晶圆步进器,旨在满足现代半导体制造的需要。这台机器是一个多合一平台,可用于步进光刻、掩模对齐器和图样操作。它能够处理直径可达8英寸的晶片,以满足标准生产需求,而对于高级应用程序,则可处理直径可达200毫米的晶片。步进器配备了先进的NIKON光学器件,针对超低功耗和改进的成像质量进行了优化。步骤和重复功能允许在广泛的基板上进行一致的覆盖和阵列。NIKON NSR-S207D的设计是为了在半导体制造中达到典型的模式精度。其高度精确的光学设计确保了非常长和稳定的成像特性,允许分辨率高达0.42 µm。步进器还采用了扫描仪电机控制系统和振镜驱动器,以提高精度和重复性。它的设计目的是提供0.5µm ±的高重复性,用于田间最短的边距。该机针对自动化操作进行了优化,确保了快速安装和高吞吐量.它的用户友好型设计具有多种连接选项,可方便地控制和管理生产操作。NSR S207D还提供了许多作业控制功能,包括自动焦点校准、自动计量、过程控制、跟踪和对齐。NSR-S207D是一个可靠的晶圆步进设计,以提供最大的过程控制和产量。其先进的光学和运动控制系统相结合,提供卓越的图像质量和高通量操作。该机器坚固耐用,可最大程度地减少停机时间,有助于确保一致、精确和可重复的结果。
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