二手 NIKON NSR S207D #293817914 待售

NIKON NSR S207D Wafer Stepper是一种用于制造半导体器件的高性能光学光刻机。它是为高敏锐度图样设计的，分辨率为0.22 μ m。步进器的能力还包括晶片图样制作过程中的精确深度控制。NIKON NSR-S207D专为发布时业界可用的最高分辨率光学技术而设计。一种先进的CCD成像设备，通常被称为"Offset Chopper"，被用作高效成像系统。该单元包括两个单独的CCD,用于暴露单个晶片。这提供了在多个字段之间进行注册所需的准确性,从而确保晶圆阵列的高质量。步进器配置有六个轴，用于晶圆和标线的精确对准和定位。加工室内的定位和放置由先进且高度精确的定位机控制。集成的自动校准工具确保了晶圆放置的最佳精度和可重复性。此外,NSR S207D的一个显着特征是precision Z-Axis资产,它能够在曝光过程中精确控制晶圆深度。该模型对于处理需要多个聚焦级别的厚基板特别有用。NSR-S207D还设计了自动交换设备,可在无需人工干预的情况下交换步进元件,如镜片和标线。这就消除了人工交换可能造成的错误和错位。步进器具有多种自动化选项,可提供更高的吞吐量、便利性和改进的人体工程学。步进器的多个动画选项使得晶片的设置、加载和卸载非常快速和方便。先进的标线对准系统是另一个重要的特点，允许在曝光期间精确对准标线与晶圆。NIKON NSR S207D的设计非常可靠,对维护的需求很小。步进器的主动温度控制单元确保机器的组件在整个过程中保持在规定的温度范围内。最后,NIKON NSR-S207D包括一个用户友好界面,可简化复杂的流程设置和维护任务。