二手 NIKON NSR S207D #9391602 待售

NIKON NSR S207D晶片步进器是一种用于制造半导体器件的高精度光刻工具。它非常适合设备制造铸造厂、研发实验室和教育机构。设备针对成本、精度和吞吐量进行了优化。该系统由先进的光学投影单元和用于基板运动的电动x/y级两个主要组件组成。它还包括一个用于快速交换基板的自动装载机。光学投影机由精密光学透镜工具和步进电动机组成，用于电光调制。光学器件由多达20个反射镜和透镜组成，包括凸光、凹光和消色差光学器件，它们与资产一起安装和交付。光学器件的特点是像差低，光学分辨率高，图像质量好。先进的步进电机可实现高精度的舞台位置控制和镜头旋转。Motorized x/y stage are designed for accuracy and speed.它由数控步进电机驱动，具有先进的运动控制功能。舞台射程400毫米x 400毫米，可提供高达500毫米/秒的快速运动，控制精度为0.7 μ米。该阶段还包括防跌和防撞。自动装载机可以保护标线板和玻璃板，以及快速交换基板以便自动操作。总之，NIKON NSR-S207D晶片步进器是器件制造的理想光刻工具，具有很高的精度和吞吐量。它具有精确的光学投影模型，电动x/y级，以及用于快速交换基板的自动装载机。该设备的设计是为了节省成本和精确制造多种类型的半导体器件。