二手 NIKON NSR S208D #293629357 待售

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ID: 293629357
晶圆大小: 12"
优质的: 2010
KrF Scanner, 12" FOUP System SMIF Amp rack Temperature controller CYMER Laser Air conditioner 2010 vintage.
NIKON NSR S208D是一个专用的晶片步进器,具有许多先进的功能,使其成为微光刻应用的绝佳选择。它拥有0.5 nm精度、最大6英寸曝光尺寸、最小0.2 µm特征尺寸的全自动标线对准设备。此外,它的最大对准精度为1.5 nm,可将离子束引导至单个晶界大小的区域。系统能够扫描一系列曝光场大小,从8 × 6英寸到16 × 12英寸。它还具有变速线性驱动单元,允许最大1 Hz至10 Hz晶圆步进速度而不增加投影和最大1 kHz曝光频率。每步曝光时间通常为1秒或更短。曝光时间也可以调整,以满足每个用户的特定曝光要求。NSR S208D也有一系列曝光波长,共8种选择,最大波长248 nm。此外,该晶片步进器还具有用于内置薄膜和黄斑工艺控制的全自动化机器,旨在以最短的曝光时间优化曝光结果。此功能可实现准确、可重复的结果,并减少浪费。此外,该资产中存在的离子束还原工具显着降低了散射光的影响,从而提高了产量。它还在模式曝光变化和设备工艺要求方面具有很高的通用性。这使得它适用于与器件晶片制造和工艺控制相关的各种操作。此外,它还重量轻,只有112公斤,因此提供了步骤型模式的简单和准确的自动化。NIKON NSR S208D晶片步进器通过升级的型号芯片机提供连续曝光,而无需停止和重新定位对齐方式。这使得它成为一系列微光刻应用的有效解决方桉。此外,该设备由NIKON图像软件完全可控,还具有强大的成像处理和分析显微镜系统。总而言之,NSR S208D晶片步进器是一种可靠且用途广泛的微光刻设备,适用于一系列大容量设备制造操作。其自动化的标线对准机,高精度和范围的曝光使它成为一个伟大的解决方案,你的晶圆步进需要。
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