二手 NIKON NSR S208D #293812960 待售

NIKON NSR S208D Wafer Stepper是一种功能强大的光刻设备,专为先进的制造应用而设计。它具有最先进的光学系统,允许曝光纬度从0.08 μ m到20 μ m。该S208D还采用了NIKON专用脉冲电源（PPS）技术,该技术可确保最佳曝光能量控制,减少晶圆之间的过程差异。它具有+/-0.2 μ m的激进曝光对准范围,以确保最大吞吐量并缩短解决方桉对准时间。NSR S208D的其他功能包括204 mm的视场、高达460mm的最大表格大小以及每个模具最多45个骰子。此外，S208D还有一个新设计的衍射有限涂层单元（DLC），它在晶片上提供极均匀的涂层图样，具有很高的可重复性。这台DLC机可定制，以满足特定的工艺要求，如减少曝光时间、防止晶圆扭曲、改进粒子控制等。该S208D还具有创新的检查能力，包括新的One Shot Ready Inspection（OSRI）功能。这样可以实时检查和比较暴露数据，以提高准确性。该工具可以在过程完成之前检测和纠正暴露错误,因此非常适合要求更高的精度。此外,S208D还支持Photoshop®集成,允许用户创建或导入自己的设计。在整个设计过程中,S208D强调吞吐量和准确性。除了高精度光学和高效的资产架构外，其坚固的温度控制单元（TCU）确保了极其精确的温度控制。这样可以确保均匀的曝光可重复性,并最大程度地减少热漂移,这是返工作业的一个特别重要的考虑因素。该S208D还具有实时程序/数据更新功能,便于维护和预防性维护。NIKON NSR S208D Wafer Stepper是用于先进光刻应用的可靠而强大的解决方桉。其特点最大限度地提高了吞吐量和准确性，而其先进的检验能力则有助于确保质量控制。