二手 NIKON NSR S306 #120927 待售

NIKON NSR S306是一种光刻设备，用于生产集成电路（IC）掩模和小阶梯式特征。该系统专为高分辨率、亚微米对准、配准和迭加功能而设计。NSR S306设计用于处理裸晶片、晶片膜、微器件和高级IC封装失真校正等应用。该设备采用坚固的NIKON 5X放大倍率和高分辨率步进扫描机,非常适合创建小线宽设备。该工具还支持深紫外线（DUV）和至强照明。NIKON NSR S306提供全方位的应用和高性能操作，包括12英寸的现场尺寸，1.06 nm的分辨率，1/50微米的对准精度，最大吞吐量210晶圆/小时。对于晶片上的薄膜应用，该资产可以处理各种薄膜，厚度可达0.25 μ m，并且可以曝光和处理小于0.3微米的线宽。此外，该模型的加速和减速是可调的，允许设备处理与低步进和超高速。NSR S306还具有离轴照明功能,使其能够处理极大的特征。该系统还配备了高速CoaXPress摄像头,用于精细、复杂的对准和注册应用。NIKON NSR S306还拥有全自动、精密的晶圆处理，从盒式磁带简化到取放操作。晶片经度和底部校正，加上晶片ID、度量数据和级校准，可以分别对每个晶片或一批晶片进行。NSR S306配备了先进的图像处理和分析软件，可以在线下准确评估处理结果。该软件自动检测边缘或损坏的晶片以及晶片上的故障区域，允许用户快速准确地检测任何缺陷。该单元的其他功能包括自动标线偏移、高级光学器件和电子冷却。NIKON NSR S306是满足高级IC生产要求的理想选择,提供卓越的精度、显示和自动化。它在不同的应用和处理速度方面提供了极大的灵活性,适用于许多应用,如高级IC封装失真校正、出色的线宽控制以及在照明、对准、配准和晶圆处理方面的极大灵活性。