二手 NIKON NSR S306 #293814744 待售

NIKON NSR S306是为半导体器件的高精度光刻而设计的精密6轴晶圆步进器。它具有空间滤波器、精确对准能力等先进功能，以及用于平滑和可重复运动的大型抛光舞台。NSR S306集成在小巧紧凑的外形规格中,可提供生产和研究晶圆加工所需的最高精度和可靠性。NIKON NSR S306在广泛的图像采集领域提供超高分辨率和可重复性（XY为0.3nm）。它还具有寿命长、拥有成本低的特点,有助于降低设备生命周期内的维护成本。NSR S306还具有高分辨率偏振成像系统等先进技术能力，使其能够以低噪声信号比进行偏振、彩色和正面照明扫描等先进成像技术。NIKON NSR S306利用具有独特环氧调平单元的先进6轴级，提供横向运动控制和减少粒子运动漂移。该级具有高分辨率线性编码器,可确保精确的控制和扫描速度,提供可重复和高精度的成像功能。该阶段还包括具有可变曝光速度、扫描大小和焦点级别的广泛曝光设置。NSR S306的其他高级功能包括其先进的成像机,它提供出色的图像均匀性和设置时间、高图像对比度和分辨率,以及用于精密光刻的各种曝光设置。它还具有用于高对比度成像的集成空间滤波器，其先进的对准工具确保了准确和可重复的成像定位和参数设置。NIKON NSR S306具有高精度的机械设计和内部对齐资产,可优化性能和可靠性。它还具有内置加热器的真空卡盘模型和防止暴露时晶圆氧化的露天冷却器单元。此外，NSR S306包括一个大型抛光级，它减少了粒子运动，并允许平滑和可重复的运动。NIKON NSR S306是一种可靠、高性能和经济高效的设备,为精密光刻提供了最高的精确度和精确度。它提供了快速的设置时间、高级成像功能、高分辨率线性编码器和多重曝光设置,使其成为研究和生产晶圆处理应用程序的理想选择。