二手 NIKON NSR S306 #9114893 待售

NIKON NSR S306晶片步进器是半导体工业中用于光刻加工的精密设备。其设计目的是在150毫米至300毫米晶圆上使图桉与纳米级精度对齐。NSR S306包括投影光学阶段、高精度阶段、狭缝扫描技术和空间光调制器（SLM）数字掩码。它具有业界领先的26nm半音高分辨率。投影光学阶段包括非球面玻璃物镜和先进的广角光学系统。先进的光学单元确保光被正确投射，并且没有光学像差。投影光学级还具有自动对焦机构，可快速对准。高精度级允许纳米级精度。这是由闭环运动控制机和耐热扫描级完成的。这个阶段还包括一个晶圆处理机制，它允许任何大小和厚度的晶圆可以轻松加载。该狭缝扫描技术提供了可重现的和精确的塑造显示模式，并可以扫描在照印重复周期高达600kHz。它也用于低剂量狭缝成像，有助于最小化图像伪影，提供清晰的图像。SLM数字掩码用于生成投影到晶圆上的照明模式。这种遮罩由一种特殊的材料组成，它允许光衍射并形成所需的图桉。NIKON NSRS 306晶圆步进器是一种可靠的精密工具，易于使用且高精度。它具有优异的性能,非常适合大批量光刻生产。该资产设计用于研发和批量生产应用。