二手 NIKON NSR S306C #293822797 待售

NIKON NSR S306C是一种晶圆步进器，一种用于在半导体晶圆上制造集成电路的机器。这台机器的多功能性特别有利。它可以加工直径达300毫米的晶片，能够处理纤薄的抗蚀剂和非标准的基板。NIKON NSR-S306C提供30纳米以下分辨率,以及复杂的对齐和计量功能。它有一个1级位移控制设备，保持亚纳米精度与剖析和测井功能，以跟踪结果的细节。集成扫描功能使操作员能够模拟暴露并存储复杂过程的参数,这些过程需要最高的准确性和可重复性。NSR S306C非常适合先进的光刻应用。它有一个自动化的FALCON（Flexible Auto Loader for Promotion-from Operation&Notification）系统，用于将晶片装入轨道内外。这是为了防止接触污染以及通知用户任何潜在的问题。机器的高级干涉仪或I线测量焦点的位置,使对象对齐,并防止焦点不对齐。为了提高精度，该机具有ResCon特性，可最大程度地减少热漂移和振动的影响。对于无故障操作,步进器具有PUMA单元。这台高级过程控制机器每小时可执行240个步骤,提供自动的预优化和优化。它还检查每次接触的一致性和准确性，进一步提高工艺性能。NSR-S306C有一对强大的U2E FPD处理工具。由于它们能够对高达11 µm的对象进行成像,因此能够以至少两倍的分辨率实现更高的吞吐量,这使得该机器非常适合较小的特征设计。综上所述，NIKON NSR S306C晶片步进器是一种在直径达300 mm的晶片上处理集成电路的高效、通用的机器。其分辨率低于30nm，精度高，防污FALCON工具，先进干涉仪，智能PUMA资产。此外,此机器还可与高效的U2E FPD处理工具一起使用,以实现更高的吞吐量。