二手 NIKON NSR S307B #9261672 待售
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NIKON NSR S307B Wafer Stepper是一种高性能的光刻设备,能够对微观和纳米结构进行制图,用于生产电子和光电器件。该系统包括激光干涉仪控制级、CCD摄像机、计算机化镜头单元、多室真空机和数字成像处理工具。该资产旨在容纳5 x 5至8 x 8英寸(12.7 x 12.7厘米至20.3 x 20.3厘米)的各种标线,并提供低模煳的高分辨率成像。该型号配备了先进的CCD摄像头,便于对标线进行二维扫描,从而能够曝光整个磁场,或实现芯片级对准。NSR S307B具有高度精确和可重复的激光干涉仪控制级,在三个维度上提供出色的无振动运动和高精度定位基板或标线。CCD相机配备了数字成像处理系统,可以对高密度标线的器件形状进行编码,并以高精度计算基板轮廓或对准标记。这样可以在每个字段之间快速准确地对齐。设备还配备了多室真空系统,使得基板或标线的转移不会受到污染。NIKON NSR S307B旨在在生产环境中提供卓越的长期性能。该单元能够处理高通量、低循环时间的大型标线,可以容纳直径最大为8英寸的各种基板。NSR S307B Wafer Stepper旨在为微电子和光电器件的生产提供卓越的成本和性能基准。其CCD相机、数字成像处理系统和高精度的舞台设备可提高芯片和晶片级的吞吐量、准确性和成本效益。此外,它的吸尘器提供了一个清洁室般的环境,以无污染物的方式转移标线或基板。该工具适合各种生产需要,是高性能晶圆级生产的可靠选择。
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