二手 NIKON NSR S307E #293742015 待售

NIKON NSR S307E是一种多用途计量评估晶圆步进器,为高级晶圆处理应用提供高精度和高通量。这种装置能够处理直径达8英寸的晶片，并且与几个曝光波长兼容。它旨在为用户提供高分辨率的成像和精确的迭加对准,并为检查和重建等专业操作提供内置的复杂成像解决方桉。NSR S307E采用了两种创新技术：1）使用多个压电级进行超细定位的Micro-stepting对准系统；2）短标记补偿（SMC）技术，无需长对准标记补偿。它还具有自动曝光控制（AEC）和任意聚焦深度（ADOF），以提高分辨率精度。除了结构特性外,NIKON NSR S307E还提供高级成像功能。这些功能包括特殊功能,如可变间距重建（VPR）,它为复杂和临界模式提供超高分辨率成像,以及模式识别（PR）,允许检测图像之间的微小差异。该设备还提供灵活的检查控制（IC）,以确保组件在指定的公差范围内,并提供完整的边缘位置精度漂移补偿（DFC）,以确保几个过程（如凸起和栅极整形）的可靠性。NSR S307E还提供一系列光刻解决方桉,以满足各种晶圆生产需要。它能够执行单设备调整（SDR）和多设备调整（MDR），两者都能产生高产晶圆输出，同时提高总拥有成本。它还为曝光控制提供了广泛的工具包，如任意聚焦深度（ADOF）和晶圆螺纹补偿（WTC）。总而言之,NIKON NSR S307E是一种用途极为广泛的晶圆步进器,可提供精确的成像、精确的迭加对准和光刻优化,以实现高质量和高通量处理。对于需要高级计量解决方桉的用户来说,它是一个理想的选择,用于复杂的模式、凸起和闸门成形或其他要求苛刻的操作。