二手 NIKON NSR S307E #293817908 待售
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ID: 293817908
Stepper
Numerical Aperture (NA): 0.85
Resolution: 80 nm
DCO: 15
Throughput (WPH): 112-160.
NIKON NSR S307E Wafer Stepper是一种全场光学晶片步进器,具有先进的成像性能和卓越的吞吐量。它旨在满足最苛刻的生产环境的需求。NSR S307E配备了一个新的独立于5轴的扫描设备和一个5.5 μ m的远心阶梯状带板透镜系统,能够实现极高分辨率的图样成像。S307E还具有5-200 mm的大型测量范围,步长为1-5 μ m,提供精确的定位和高吞吐量。NIKON NSR S307E还具有先进的LED光源以及Focus/Glare/Slit图像控制单元,可提高图像质量和一致性。此外,S307E还包括一个胶片成像机,允许同时胶片、晶圆、对准以及在单次扫描时进行检查。此工具可保持框架稳定性,消除对齐错误和检查时间。NSR S307E还具有自动校准资产(消除校准时间),以及快速扫描仪(可一次对多个基板进行模式化)。这台高度自动化的机器允许高速成像,全晶圆扫描时间低至10分钟。此外,S307E还配备了功能强大的成像软件包,为CAM数据创建和无掩码光刻提供工具。总体而言,NIKON NSR S307E是一种功能强大的处理和成像工具,可用于最苛刻的生产任务。该S307E具有先进的成像性能、强大的软件套件和高吞吐量,是可用于生产的最先进的晶圆步进器之一。该S307E提供了速度、精度和准确性的完美结合,提供了完整的成像解决方桉。
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