二手 NIKON NSR S307E #9386223 待售

NIKON NSR S307E是一种高性能晶圆步进器，专为先进的光刻工艺而设计。它通过先进的功能和技术提供了灵活性和可扩展性,以增强光刻工艺和性能。它提供超精确的分辨率、高吞吐量和低拥有成本。NSR S307E非常适合于需要极精细阵列且特征尺寸小且公差窄的生产过程。它可以处理广泛的基材，从直径小至1.6毫米的晶片到300毫米不等。步进器的场径最大可达200毫米乘200毫米，最小间距可达0.075 µm，最小特征尺寸为0.2 µm。它的可用分辨率在0.3 nm至0.5 nm之间。NIKON NSR S307E还提供了一系列先进的功能和技术。它具有工具上的光学校准系统,可确保精确的成像和对准,以及广泛的曝光源选择,如He-Cd、KrF和I-line。步进器还包括全自动聚焦和对准序列，以及激光干涉对准系统。NSR S307E还设计用于各种类型的光掩模,从标准和双面掩模到高反射和图桉化掩模。它还提供高级功能,如对齐选择性、多阵列迭加以及可选的石英掩模功能。此外，步进器还能够进行多层工艺，具有光学均匀性和缺陷检查，以确保持续的高产量。NIKON NSR S307E还提供了各种各样的选项和配件，以进一步增强其特性和能力。它包括高长宽比蚀刻、原位厚度测量和扩展聚焦深度的选项。它也可以与各种类型的操纵器一起使用，如旋转、机动、协调阶段。总体而言,NSR S307E是一种高级但易于使用的晶圆步进器,可提供高级设备应用所需的卓越光刻性能。它提供高性能成像功能、灵活的功能大小和分辨率,以及精确的对齐功能。它具有多种特性和附件,为任何芯片生产过程提供了理想的解决方桉。