二手 NIKON NSR S308F #293754616 待售

NIKON NSR S308F是一种高性能的生产级晶圆步进器。它旨在提供卓越的映像功能和更高的吞吐量。S308F配备了先进的下一代光学设备，其中包括一个非球面晶体压缩透镜，先进的衍射元件，一个非球面反射镜，和一个超分辨率移位面罩创造者。该光学系统实现了接触层和装置结构所需的高密度精细图样的优越图样精度和精确度。步进器的专有自动聚焦算法自动调整光学单元，提供了整个晶圆的精确聚焦。该S308F的最大磁场尺寸为250毫米,景深可达3.5mu,可容纳任何类型的光刻,包括ArF、KrF、DUV和在暴露的漂白质量中成像。该S308F是为方便操作而设计与强大的基于Windows的机器，提供晶圆成像的直观控制。该工具与FabMaster中的数据输入和编译无缝集成，能够存储多达1000个晶圆图像。它还包括扫描仪工具和与主要CAD系统的连接。为确保高水平的生产率,S308F包括若干高级功能,包括可变现场缝合、在指定位置具有CD-SEM映射的实时成像设备、CD-SEM上的错误标记检查以及改进的图像校正设备,以提高图像亮度、LER和CD均匀性。NSR S308F是一种多功能晶片步进器,专为高性能而设计,维护要求最低。其先进的光学资产和种类繁多的晶圆成像工具可以快速设置和可靠的各种图样成像。易于使用的基于Windows的模型以及与CAD和处理软件的集成也有助于其高效率和可靠性。NIKON NSR S308F是生产级晶圆步进器应用的绝佳选择。