二手 NIKON NSR S308F #293776350 待售

NIKON NSR S308F晶片步进器是为先进的光刻应用而设计的最先进的曝光工具。它是一个高度精确可靠的平台，在极小的操作员干预下提供卓越的重复性和精确度。该机具有独特的KrF （氟化Krypton Fluoride）和ArF （Argon Fluoride）脉冲准分子激光器，波长分别为248nm和193nm。5轴对齐器配有12介面镜设备，提供亚微米配准和迭加性能。NSR S308F结合了6英寸基板加载站和8英寸本机或溷合掩模级以及高速自动对焦系统。它还配备了NIKON Digital Super Resolution （DSR）技术，用于精确的图像处理和精确的迭加配准。这项先进技术可提供355mm的最大曝光场大小。晶圆步进器采用高分辨率成像单元，具有两个可选择的成像方向，能够达到25纳米的精度。成像机搭配DSR工具，提供比传统成像系统更精细解析度的校正影像。对于精确的无缺陷暴露，NIKON NSR S308F带有先进的空气轴承高度动态基板级。这一独特的特点允许精确的基板对准和出色的均匀性通过低振动，L形设计。此外,晶圆步进器还可以配备完全自动化的资产,包括提供无错误过程控制和实时缺陷检测的IM-net模型模块。它还利用NIKON Smart Manager软件提供自动配方调整和高级用户友好操作。总之,NSR S308F是一种高性能的晶片步进器,具有准确可靠的性能.作为光刻应用的一项重要技术进步，该机具有卓越的性能、最大的曝光场尺寸以及改进的缺陷检测和处理控制。